E-Support　
リニューアルサポート

お客様に長年ご愛用頂いているレガシー装置(正規サポートを終了した装置)におけるサポート継続に取り組んでおります。
製品・構成機器等のリニューアルのご用命に対応しております。

E-Support 対象製品　2023年1月時点

製 品	型式・シリーズ
CMP装置	EPOシリーズ、F-REX200、F-REX300、F-REX300S、F-REX300E
べベル研磨装置	EAC200bi(-T)、EAC300bi(-T)、EAC300si
めっき装置	UFP200/300シリーズ